装置システム事業部　設計から施工まで一貫生産

事業内容

装置システム事業部は、半導体製造装置から一般工業、自動車産業・航空宇宙産業まで、高純度ガス技術・真空技術を活かした部品・装置の設計製作を提案します。半導体分野で培った経験を基に、高い品質を実現させ、NASAへの納品実績をはじめ、各種分野幅広く対応しています。

戸倉工業3つの強み

装置製造・設計製作

個々のお客様の生産装置を弊社の技術を駆使して、ものづくりを支援しています。基本構想または企画原案から、弊社にて設計・具体化した後に実際に装置を組立、調整、検査を実施して、お客様に納入します。
既成の装置ではなく、一品一様の他には無いオンリーワンのカスタマイズ装置の製作が可能となります。設計、組立からソフトウェア製作、現地搬入まで一貫して対応します。

設計製作のフロー

2次元CADでの設計を主軸に、近年需要の高まる3次元設計にも対応しています。フロー図等のユーティリティ図面・筐体・板金図から配管図・ユニット組図・装置全体に至るまで、トータルでの設計業務にお応えします。単品部品等の小さなものでもご相談ください。

問い合わせ・打ち合わせ: お客様の基本構造、仕様書、ポンチ絵などを頂き、装置の概要をヒアリングします。

企画提案・見積もり提出: 社内の専門スタッフにより、機能、仕様工程案等を検討して企画を作成し、見積もりを提出します。予算に応じて、原価低減案等、臨機応変に対応します。

詳細打ち合わせ: こちらからの企画や見積もりの内容を元に、詳細の打ち合わせをします。お客様の追加の要望に合わせて詳細を決定します。

設計・図面作成: 決まった仕様を基に各種部品、筐体フレームの手配と、装置全体の図面を作成します。また、製作工程を元に随時納期を調整します。

組立・配線・調整・検査: クリーンルームにて組立調整を実施します。完成後には仕様を満たしているか品質保証担当者が入念な社内検査を実施します。

梱包・出荷: お客様の立会検査に合格後、梱包・出荷を行います。ご要望により、搬入作業、配管工事、立上作業等を対応します。

高純度ガス配管製作

装置システム事業部では、創業当初より半導体製造装置事業に携わってきました。とても厳しい基準をクリアし続けるために培った数ミクロンの塵をも許さない繊細な技術は、私たちの誇りです。
この卓越した超クリーン技術は、半導体製造分野のみならず検査機械、医療機械、航空宇宙産業まで幅広く活躍しています。
長年の実績に基づく豊富なノウハウと、製造現場直結の社内システムにより、短納期での依頼にも対応します。機器選定等の仕様決め段階から、お客様の要望に合わせて弊社エンジニアがサポートします。

MSFC-SPEC-560A
宇宙向溶接配管規格（NASA）

溶接工程のフロー

溶接サンプル作成: お客様の条件に合わせてサンプルを作成します。

溶接サンプルの確認: 配管内面の溶接部を顕微鏡で確認します。条件に合うものが出来るまで繰り返しサンプルの作成を行います。

製品製作: サンプルの作成が完了したら図面を基に製作します。

外面仕上げ: 溶接後の外面酸化膜を除去します。

各種検査: 気密（溶接部からの漏れ）、形状、寸法などの社内検査を実施します。

梱包・出荷: 梱包し出荷となります。二重梱包も承ります。
環境へ配慮し専用の通い箱を設計、製作して納品することもあります。

戸倉工業の高純度ガス配管の特徴

クリーン対応の施工環境によるパーティクルフリー
溶込量、ビード幅の制御による溶接ビードコントロール
蓄積したノウハウによる適切なベンディング、端面処理
耐圧、引張強度、耐腐食性、脱ガス特性など高機能特性
3D-CADのモデリングにより、事前に配管形状の確認が可能

自動加工機による高精度で誤差の無い高効率加工
熟練した溶接技術との融合により、複雑で付加価値の高い3次元配管の製作が可能

配管自動溶接

弊社のステンレス配管自動溶接（1/8～3/4）は長年にわたる溶接ノウハウ、データ、経験を積重ね、安定した溶接ビード幅、高さ、溶込み量を高精度に繰り返し形成する事が可能です。バックシールドガスにはArガスを使用し、配管内面の溶接酸化膜の形成を防止します。その結果、耐腐食性、脱ガス特性、耐圧、引張強度等の特性を有した高性能な配管溶接が実現できます。尚、自動溶接作業者は取得しているISO9001に則って社内認定制度により認定を受けた者のみが溶接を実施しています。
社内認定以外においても顧客認定等を受けて配管の製作を実施しています。半導体、液晶、医薬、一般産業の他、宇宙向けのNASA（アメリカ航空宇宙局）、MSFC（Marshall Space Flight Center）の規格の特殊工程認定も取得しています。