【半導体装置用ガス配管】
| 材質 | SUS316 |
| グレード | EP/BA |
| 継手 | VCR継手 |
【品質管理体制】
当社、装置システム事業部は
国際標準 品質規格 ISO9001を
取得し品質管理を行っております。
主な事業部内容
装置システム事業部は、半導体製造装置から一般工業、自動車産業・航空宇宙産業まで幅広く、 高純度ガス技術・真空技術を活かした部品・装置の設計製作をご提案いたします。
製造装置・設計製作
個々のお客様の生産装置を弊社の技術を駆使して、ものづくりを支援いたします。
基本構想または企画原案を頂き、弊社にて設計し具体化した後に実際に装置を組立、調整、検査を実施し
お客様に納入いたします。
既成の装置ではなく、オンリーワン、１品１様の、他には無いカスタマイズ装置の製作が可能となります。
また、設計、組立からソフトウェア製作、現地搬入まで一貫して対応いたします。
設計製作のフロー
高純度ガス配管製作
半導体製造装置事業で得た、他の追随を許さない高品質
装置システム事業部では、創業当初より半導体製造装置事業に携わってきました。
とても厳しい基準をクリアし続けた結果に得た、数ミクロンの塵をも許さない繊細な技術は私たちの誇りです。
この卓越した超クリーン技術は 半導体製造分野のみならず検査機械、医療機械、航空宇宙産業まで幅広く活躍しております。
お客様からの高い信頼と評価が、何よりの証拠です。
戸倉工業の高純度ガス配管の特徴
| 技術品目 | 戸倉工業の約束 |
|---|---|
| パーティクルフリー | クリーン対応の施工環境 |
| 溶接ビードコントロール | 溶込量、ビード幅の制御 |
| ベンディング、端面処理 | 蓄積したノウハウ |
| 高機能特性 | 耐圧、引張強度、耐腐食性、脱ガス特性 |
配管製作例
配管工事・分析
お客様工場内にて装置までのユーティリティー配管の現地施工を弊社にて対応いたします。弊社技術スタッフが施工計画から気密検査まで迅速に実施します。
また、当社の卓越した技術者により、図面が無い場合においても、お客様の装置内配管を現合にて施工いたします。
その他、施工配管のガス純度分析（API-MS)等の対応も可能です。
クリーンルーム
本社クリーンルーム
組立エリア
【仕様】
| 床面積 | 150㎡ |
| クラス | 10,000 |
| 天井高さ | 3m |
| 設備 | 自動溶接機 Heディテクタ パイプカッター |
【お問合せ】
| 電話 | 042-323-5400 |
| FAX | 042-323-1582 |
クリーンベンチ
本社第2工場
１F作業場
2F検査・梱包室
【仕様】
| 床面積 | 100㎡ （クリーンブース約30㎡） |
| 天井高さ | 2.5m（クリーンブース2.1m) |
| クリーンブース仕様 | ISOクラス６（クラス1000） 対象粒径0.5μm 集塵効率0.3μm粒子にて 99.99%以上 |
| 設備 | 自動溶接機 Heディテクタ 半自動パイプ切断機 |
【お問合せ】
| 電話 | 042-312-4325 |
| FAX | 042-312-4326 |
本社第3工場
【仕様】
| 床面積 | 250㎡ |
| 天井高さ | 5.5m |
| クレーン高さ | 3.5m |
| シャッター開口 | 幅5.2m×高さ3.6m |
| 設備 | 1.5tonホイストx2台 0.8MPaエアコンプレッサー Heディテクタ 50MPa昇圧器 冷却水循環器 |
【お問合せ】
| 電話 | 042-470-1170 |
| FAX | 042-420-1771 |
富山工場（クリーンルーム）
組立エリア
【仕様】
| 床面積 | 200㎡ |
| クラス | 1,000 |
| 対流方式 | コンベンショナル方式 |
| 天井高さ | 3.8m |
| 設備 | Heディテクタ スケール パイプカッター他 |
溶接エリア
【仕様】
| 床面積 | 50㎡ |
| クラス | 100 |
| 対流方式 | ダウンフロー方式 |
| 天井高さ | 3m |
| 設備 | 自動溶接機他 |
プレハブ倉庫（倉庫外観）
プレハブ倉庫（1F加工場）
【仕様】
| 床面積 | 39.47㎡ |
| 天井高さ | 1F：3.0m、2F：2.6m |
| シャッター開口 | 幅1.7m×高さ2.3m（2箇所） |
【お問合せ】
| 電話 | 076-454-2500 |
| FAX | 076-454-2562 |
富山 第2工場
外観
【仕様】
| 床面積 | 建屋全体：約1,400㎡ |
クリーンルーム（組立エリア）
【仕様】
| 床面積 | クリーンルーム：180㎡ |
| 天井高さ | クリーンルーム : 4.0m |
| 搬出入開口 | 幅2.3m 高さ3.5m |
| 第2工場搬出入口 | 幅3.7m 高さ5.0m |
| 清浄度 | ISOクラス６(クラス1000) |
| 仕様 | 対象粒径0.5μm |
| 設備 | 天井ウィンチ：1.0t x 1台 1.5t x 1台 Heディテクタ x 2台 |
クリーンブース（配管製作エリア）
【仕様】
| 床面積 | クリーンブース：64㎡ |
| 天井高さ | クリーンブース：2.3m |
| 搬出入開口 | 幅1.5m 高さ2.0m |
| 清浄度 | ISOクラス６(クラス1000) |
| 仕様 | 対象粒径0.5μm |
| 設備 | 自動溶接機×2 |
【お問合せ】
| 電話 | 076-481-6022 |
| FAX | 076-481-6027 |
部品販売
【部品販売主要品目】
| ダイアフラムバルブ |
| マスフローコントローラ |
| 配管継手 |
| 真空配管 |
| クランプ類 |
| ベローズ |
| 真空計 |
| APC |
| 流量計 |
| 圧力センサー |
| ガス検知器 |
| 磁性流体シール |
| 真空ポンプ |
その他営業品目
| 装置・ユニット |
|---|
| MO-CVD装置 |
| He検査装置 |
| イオンプレーティング装置 |
| CVD装置 |
| スパッタ装置 |
| 超臨界装置 |
| アッシング装置 |
| 酸化装置 |
| アニール装置 |
| ガス供給ユニット |
| 排気ユニット |
| トランスファーユニット |
| 真空ポンプユニット |
| シリンダーキャビネット |
| ボンベスタンド |
| 配管・ソフト |
|---|
| 半導体装置向けプレファブガス配管 |
| 宇宙向けプレファブガス配管 |
| 真空チャンバー製作及び電解研磨処理 |
| 真空排気配管製作 |
| 電気制御盤製作 |
| 装置PLCシーケンスソフト |
| 装置PC制御ソフト |
| 分析・検査 |
|---|
| APIMS(大気イオン化質量分析） |
| 蛍光浸透探傷検査 |
| 放射線検査 |
| Heリーク検査 |
| 耐圧気密検査 |
| 工事・作業 |
|---|
| 高純度ガス配管工事 |
| 真空配管工事 |
| 冷却水工事 |
| ダクト配管工事 |
| 電気配線ラック工事 |
| 装置移設搬入撤去作業 |
| 装置内配管作業 |
| 装置内配線作業 |
| 配管HYPER処理 |
| 部品・販売 |
|---|
| トクランプ製品 |
| 真空部品 |
| 配管部品 |
| バルブ継手類 |