He検査実験装置

装置構成	チャンバー、排気系、ボンベ筐体、制御筐体
チャンバー	SUS304 溶接構造　電解処理
制御方式	PLC+タッチパネル
真空ポンプ	EDWARDS ロータリーポンプ
バルブ類	KITZ SCT 高圧ダイアフラムバルブ
施工範囲	設計製作 一式
製作実績数	1台