卓上小型HB表面アニール装置
| コイル式 Coil heating | HB方式 | ||
| 1 | エネルギー効率 Energy conversion | 15〜20% | 90%以上 |
| 2 | 排熱 Wasted heat | >85% | 〜3% |
| 3 | 熱源温度 Heater temperature | 高温度 High temperature | 加熱ガスと同じ Same temperature with heated gas |
| 4 | 消費電力比 | 1 | 1/5 |
| 5 | 大きさ Size | 大型 Large | 従来の1/10以下 10 times smaller han coil heating |