レーザー加熱装置用ALチャンバーユニット

装置構成	チャンバー、筐体
チャンバー​	φ600 A5052 アルピカ処理　ICFフランジ
バルブ類	IKO 高真空バルブ
施工範囲​	製作加工、組立、検査
納入実績	1台