ガス精製ユニット

装置寸法	1300×400×1700
ガス精製器	ピュアロン
ヒーター	坂口電熱
バルブ類	Swagelok
筐体	SS焼付塗装
制御方式	温調器、SSR
施工範囲	設計製作　一式
製作実績数	1台