有機EL　CVD装置用ガスユニット

装置寸法​	1000×500×1700
MFC	日本アエラ
レギュレータ	ユタカ
バルブ類	Swagelok
筐体	SS焼付塗装
配管	SUS316L EP
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	1台