プラズマCVDガスユニット

装置寸法​	800×900×400
MFC	堀場エステック
レギュレータ	ユタカ
バルブ類	フジキン
筐体	SUS304 片面磨き​
圧力スイッチ	日本電産コパル電子
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	1台