高純度アンモニア供給システム

装置構成	ボンベ温調ユニット、ガスユニット、制御筐体
ポンプ​	高純度アンモニア500kg ボンベ
バルブ類	バルブ KITZ SCT レギュレーター ヤマト産業
最大流量	150SLM
温調仕様	ボンベ温水温調、ガス配管シリコンヒーター温調
制御方式	PLC+タッチパネル
施工範囲	設計製作 1式
納入実績	2台