圧力制御ユニット

装置寸法​	400×300×400​
真空ポンプ​	アルバック​
PLC​	三菱 FXシリーズ​
キャパシタンスマノメータ​	メガトール​
バルブ類​	CKD KITZ​
制御方式​	PLC+タッチパネル​
施工範囲​	設計製作 一式​
製作実績数​	1台​