コンプレッサーリアケースHe検査装置

装置寸法	1200×1550×2300
測定チャンバー	SUS304 1チャンバー
ディテクタ	LDS2010 インフィコン
バルブ類	KITZ SCT
真空ポンプ	E2M80 RV8 EDWARDS
制御方式	PLC+タッチパネル
施工範囲	設計製作 一式
製作実績数	1台