燃料パイプHe漏れ検査装置

装置寸法	1650×2450×2050
チャンバー	SUS304 溶接構造
真空ポンプ	ULVAC MBP RP
ガス圧縮機	アルプス販売
バルブ類	Swagelok
Heディテクタ―	ULVAC HELIOT901W1
制御方式	PLC+タッチパネル
施工範囲	設計製作 一式
製作実績数	52台