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製作実績
半導体製造装置
オスミウム供給システム
オスミウム供給システム
装置寸法
560×470×1150
圧力センサー
セトラ
ヒーター
坂口電熱
バルブ類
フジキン
筐体
SS焼付塗装
制御方式
PLC+タッチパネル
施工範囲
設計製作 一式
製作実績数
1台
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