プラズマCVD装置
| 装置構成 | 本体、真空ポンプユニット、電源盤、制御盤、操作PC |
| チャンバー | SUS304 溶接水冷2重構造 電解処理 純水洗浄 |
| 制御方式 | PLC+タッチパネル+PC |
| 真空ポンプ | ULVAC RP Diffpump |
| バルブ類 | KITZ SCT ダイアフラムバルブ VAT ゲートバルブ |
| 施工範囲 | 設計製作 一式 |
| 納入実績 | 1台 |
| 装置構成 | 本体、真空ポンプユニット、電源盤、制御盤、操作PC |
| チャンバー | SUS304 溶接水冷2重構造 電解処理 純水洗浄 |
| 制御方式 | PLC+タッチパネル+PC |
| 真空ポンプ | ULVAC RP Diffpump |
| バルブ類 | KITZ SCT ダイアフラムバルブ VAT ゲートバルブ |
| 施工範囲 | 設計製作 一式 |
| 納入実績 | 1台 |