マグネトロンスパッタリング装置
| 仕様 | ワーク8軸 自公転 |
| チャンバー | 1m SUS304＋電解処理＋純水洗浄 |
| 機器構成 | マグネットコイル、循環排気系、ガス供給系、冷却温水系 |
| 真空ポンプ | TMP：大阪真空 RP MBP：EDWARDS |
| MFC | 堀塲エステック |
| バルブ類 | ゲートバルブ フジテクノロジー |
| 施工範囲 | 機械計、購入、製作、組立、調整 |
| 納入実績 | 1台 |
| 仕様 | ワーク8軸 自公転 |
| チャンバー | 1m SUS304＋電解処理＋純水洗浄 |
| 機器構成 | マグネットコイル、循環排気系、ガス供給系、冷却温水系 |
| 真空ポンプ | TMP：大阪真空 RP MBP：EDWARDS |
| MFC | 堀塲エステック |
| バルブ類 | ゲートバルブ フジテクノロジー |
| 施工範囲 | 機械計、購入、製作、組立、調整 |
| 納入実績 | 1台 |