アーク式イオンプレーティング装置

チャンバー	SUS304＋電解処理＋純水洗浄
プラズマ	HCDガン高密度アルゴンイオン
ワーク	自公転型
処理重量	150kg
処理温度	400℃～500℃
処理膜	TiN,TiAlN
機器仕様	GV：フジテクノロジーTMP：大阪真空 RP：エドワーズ MFCエステック
施工範囲	機械設計、購入、製作、組立、調整
納入実績	10台