大型コーティング装置

装置構成	本体、真空ポンプユニット、電源盤、制御盤、操作PC
チャンバー	SUS304 溶接構造 水冷パイプ付　電解処理、純水洗浄
制御方式	PLC+タッチパネル+PC
真空ポンプ	大阪真空 TMP 4台 EDWARDS RP 4台MBP ULVAC RP
バルブ類	KITZ SCT ダイアフラムバルブ VAT ゲートバルブ
直流電源	ダイヘン溶接機電源　20台
施工範囲	設計製作 一式　現地配管工事
納入実績	3台