IBS装置用ガス・冷却水ユニット

装置寸法​	800×400×800
MFC	堀場エステック
流量計	東京計装
バルブ類	フジキン
筐体	SUS304 磨き​
配管	SUS316 BA
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	6台