Xe/F2供給ユニット

装置寸法​	600×300×700
ピエゾバルブ	堀場エステック
圧力センサー	ミリポア
バルブ類	フジキン
筐体	SS焼付塗装
配管	SUS316L EP
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	1台