蒸着装置用ガスユニット

装置寸法​	500×400×1650
MFC	日本アエラ
レギュレータ	ユタカ
バルブ類	フジキン
筐体	SS焼付塗装
制御方式	PLC+タッチパネル
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	1台