プラズマCVD装置用シリンダーキャビネット

装置寸法​	1500×500×1750
ガス種	He C2F6 N2O CO2
レギュレータ	日酸田中
バルブ類	KITZ SCT
筐体	SS焼付塗装
制御部	リレー制御
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	1台