ICP-RIE装置用シリンダーキャビネット

装置寸法​	1500×500×1500
筐　体	SS焼付塗装
ガス種	He C4F8 SF6 10L
バルブ類	KITZ SCT
レギュレータ	日酸田中
施工範囲	設計製作 １式　​
製作実績数	２台