小型LP-CVD装置

装置寸法​	700×500×1500
ターボ分子ポンプ	大阪真空
ロータリーポンプ	アルカテル
バルブ類	入江工研
筐体	SS焼付塗装
配管	SUS316 BA
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	1台