横型CVD装置排気ユニット

装置寸法​	1400×1800×2400
ドライポンプ​	ULVAC
流量計	東京計装​
バルブ類	KITZ SCT
筐体	SS焼付塗装
配管	SUS316 BA
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	1台