プラズマCVD装置用排気ユニット

装置寸法​	3000×1000×1500
MBPポンプ	エドワーズ
ドライポンプ	エドワーズ
バルブ類	入江工研
筐体	SS焼付塗装
真空配管	SUS304 ブラスト処理
施工範囲	設計製作　1式
製作実績数	1台