WET酸化装置

仕様	３インチウエーハ　１枚
加熱方式	PID制御　ランプ加熱
ガス供給	恒温槽内　純水バブリングタンクより 水蒸気をリアクターに導入
シーケンス	プロセスオートシーケンス
施工範囲​	機械、電気設計、購入、製作、組立 調整、制御、現地工事
納入実績	１台