MO-CVD装置

方　　式	3インチウエーハ　8枚　自公転フェイスダウン
加熱方式	ランプ加熱　10ゾーン制御
ガス供給	Ⅲ族原料、Ⅴ族＋水素、窒素
制御系	機械、電気設計、購入、製作、組立、 調整、制御、現地工事、API-MS純度測定
納入実績	2台