容器CVD装置

装置寸法​	1200×850×1630​
高周波電源​	超音波流量計​
MFC​	フジキン​
バルブ類​	KITZ SCT​
制御方式​	PLC+タッチパネル​
施工範囲​	設計製作 一式​
製作実績数​	1台​